水蒸餾法取得精油最普遍 的方法。此法是將台灣檜木木料與水混合加熱，台灣檜木的精油可隨著水蒸氣一起餾出，

精油和 水蒸氣冷卻後，因精油比重較水小而留於上 層，將兩者分離即可取得精油。